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超高精度三坐标测量机 LEGEX 匠
最大允许长度测量误差E₀,MPE=(0.23+0.7L/1000)μm
产品特点与优势
LEGEX 匠 在原有机型的基础上,为了传承卓越的技能,引入了“匠人制度”,对加工工艺进行不断改进和完善,力求极致和完美。
●超高精度:长度测量误差(MPP-310Q):E0,MPE=0.23+0.7L/1000(μm)
● 高移动精度:采用固定桥式工作台移动结构,X轴和Y轴在移动时互不产生影响。采用完全重心驱动方式,加减速时几乎没有变形。
● 高刚性:通过采用主体基座球墨铸铁的封闭式结构和Y轴导轨和基座一体化结构,实现了高刚性和振动衰减性。
● 全方位振动对策:
外部振动对策——标配了专用的高性能带有自动调水平功能的”空气阻尼弹簧减震器”。
内部振动对策——采用特殊的浮动机构以链接滚珠丝杠与导向块,吸收丝杠旋转的锥形运动和轴垂直面的振动。
●超高精度测长单元:采用高性能超高精度测长单元,同时光栅尺采用为独特的固定方式,能有效抑制与安装面的热膨胀率有差异而产生的滞后误差。

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