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| 测量参数 | Ra 、 Rp 、 Rv 、 Rt 、 Rz 、 Rq 、 Rsk 、 Rku 、 Rc 、 RPc 、RSm 、 Rmr （ c ）、 tp 、 Rmr 、 Rpm 、 Rz1max 、 RzJIS 、 Rmax 、 Htp 、 R δ c 、 R △ q 、 R △ a 、Rk 、 Rpk 、 Rvk 、 Mr1 、 Mr2 、 A1 、 A2 Pa 、 Pp 、 Pv 、 Pt 、 Pz 、 Pq 、 Psk 、 Pku 、 Pc 、 PSm 、Pmr （ c ）、 Pmr 、 Pz1max 、 PzJIS 、 P δ c 、 P △ q | |
| 传感器 | 检测原理 | 电感式 |
| 测量范围 | 400μm | |
| 针尖半径 | 5μm | |
| 针尖材料 | 金刚石 | |
| 触针测力 | 4mN | |
| 触针角度 | 90° | |
| 导头纵向半径 | 45mm | |
| 最大驱动行程 | 19mm | |
| 量程和分辨力 | 量程 | 分辨力 |
| ± 25μm | 0.001μm | |
| ± 200μm | 0.008μm | |
| 波方式 | 2RC 、 GAUSS | |
| 取样长度 | 0.08mm ， 0.25mm ， 0.8mm ， 2.5mm | |
| 评定长度 | 1L ~ 5L （可选， L 为取样长度） | |
| 示值误差 | ± 10% | |
| 示值重复性 | ≤ 6% | |
| 工作环境 | 温度： 0 ℃ ~ 40 ℃ 湿度：＜ 90% RH | |
| 外形尺寸及重量 | 主机： 155.4mm × 75mm × 53mm ，约580g 驱动器：Ф 26mm × 132.5mm ，约 179g | |
| 电源 | 内置电池：锂离子充电电池 电源适配器：输入： 100V ~ 240VAC ，50/60Hz 输出： 9V ， 3A | |
| 标准配置 | 主机、传感器、驱动器、充电器、样块、前后护套、探杆（ 4 根） | |
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